ԭ�ӌӳ��e���g(sh��)
�l(f��)��r(sh��)�g��2023-08-19
ԭ�ӌӳ��e���g(sh��)��Atomic Layer Deposition, ALD���ֱ��Q����ӌӳ��e���g(sh��)����һ�N�����Ƃ�{�ײ��ϵı�Ĥ���e���g(sh��)������һ�N�������L���^����ͨ�^�ڻ��ױ��潻��س��e��(g��)ԭ�ӻ���ӌӁ팍(sh��)�F(xi��n)��
ԭ�ӌӳ��e���g(sh��)�Ļ���ԭ����ͨ�^����ǰ�w���ӵĽ����M(j��n)�Ϻͷ���(y��ng)��ÿ�η���(y��ng)ֻ�ܳ��eһ��ԭ�ӻ���������ұ��Cǰһ���c��һ�ӵĽ�����ȫ�oȱ�����@�N�������L���^�̿��Կ��Ƴ��e�ӵĺ�ȡ����W(xu��)�ɷֺͽY(ji��)��(g��u)���Ķ���(sh��)�F(xi��n)����Ĥ���|(zh��)�ľ��_���ơ�
ԭ�ӌӳ��e���g(sh��)�������ׂ�(g��)���c(di��n)��
1. �߶ȿɿ��ԣ�����ǰ�w���ӵĽ��湩��(y��ng)�����Ծ��_����ÿһ�ӵĺ�Ⱥͳɷ����Ķ���(sh��)�F(xi��n)����Ĥ���|(zh��)�ľ��_�{(di��o)����
2. �����ԣ�ԭ�ӌӳ��e���g(sh��)�������׳߶Ⱥͼ{�׳߶��ό�(sh��)�F(xi��n)����ı�Ĥ���e�������˂��y(t��ng)�����г��F(xi��n)�ĺ�Ȳ����ɷֲ�����Ȇ��}��
3. ���|(zh��)����Ĥ������ÿһ�ӵij��e����(j��ng)�^����(y��ng)����ϴ���E��ԭ�ӌӳ��e���g(sh��)���Ԍ�(sh��)�F(xi��n)��������ȱ�ݵı�Ĥ�Ƃ䡣
4. ����ԣ�ԭ�ӌӳ��e���g(sh��)�������ڲ�ͬ���ϵı�Ĥ���e���������١�������������ȣ����ҿ���ͨ�^���Ƴ��e�l�����{(di��o)�ر�Ĥ�����������W(xu��)��늌W(xu��)���|(zh��)��
ԭ�ӌӳ��e���g(sh��)���S���I(l��ng)����ЏV����(y��ng)�����������������������W(xu��)��ĤͿ�ӡ���Դ�惦(ch��)���|�����Ƃ��������{�׳߶����²��ϵ��аl(f��)���Ƃ��ṩ����Ҫ�Ĺ��ߺͼ��g(sh��)֧����
AGUS ALD-ԭ�ӌӳ��eϵ�y(t��ng)��http://www.rubis-consultant.com/Product.aspx?cid=5
