ԭ�ӌӳ��e�O(sh��)��
�l(f��)��r(sh��)�g��2023-08-19
ԭ�ӌӳ��e�O(sh��)�䣨Atomic Layer Deposition����(ji��n)�QALD����һ�N���M(j��n)�ı�Ĥ�Ƃ似�g(sh��)�������ڲ��ϱ�����ԭ�ӌӵľ��_���ƺ�����L(zh��ng)�����Ĥ�����c��Ҏ(gu��)�Ļ��W(xu��)������e��CVD�������������e��PVD����������и��ߵij��e�ٶ������õı�Ĥ�����Ժ��õı�Ĥ�|(zh��)����ԭ�ӌӳ��e�O(sh��)����Ҫ��(y��ng)��������������{�ײ��ϡ���������W(xu��)���Ϻ���Դ��(ch��)����I(l��ng)����
ԭ�ӌӳ��e�O(sh��)����Ҫ�������ׂ�(g��)���֣�
1. ����(y��ng)�ң������M(j��n)�б�Ĥ���e����(y��ng)�ĭh(hu��n)����ͨ���ɸ���յĚ��w���]ϵ�y(t��ng)��(g��u)�����_������(y��ng)�^(gu��)���Л](m��i)������s�|(zh��)�M(j��n)����
2. ݔ��ϵ�y(t��ng)�����ڌ���Ƭ��substrate�����뷴��(y��ng)�������ڲ�ͬ���E֮�g������ݔ��ϵ�y(t��ng)��Ҫ�߂��^�ߵķ�(w��n)���Ժ;��_�����Դ_����Ĥ���e��һ������
3. ���w���oϵ�y(t��ng)�������ṩ��ͬ��ǰ�(q��)�w���w����ALD�^(gu��)���У���Ҫ���湩�o��ͬ��ǰ�(q��)�w���w���Ԍ�(sh��)�F(xi��n)ԭ�ӌӵij��e�����w���oϵ�y(t��ng)��Ҫ�߂䷀(w��n)�����ɿ����������Դ_���a(ch��n)������Ļ��W(xu��)����(y��ng)��
4. ����(y��ng)���������ݼ{��Ƭ��ǰ�(q��)�w���w�������ƜضȺ͉����ȅ���(sh��)������(y��ng)��ͨ���ɸߜ��͟�����Ƴɣ����߂����õğ����(d��o)�������Ԍ�(sh��)�F(xi��n)�^�ߵij��e���ʺ;�������
5. ��ϵ�y(t��ng)�����ھS�ַ���(y��ng)�҃�(n��i)����նȡ�ALD�^(gu��)������Ҫ����խh(hu��n)������ϵ�y(t��ng)��ȡ����(y��ng)���еĚ��w���s�|(zh��)�����á�
6. ����ϵ�y(t��ng)�����ڱO(ji��n)�y(c��)���{(di��o)��(ji��)����(y��ng)�ҵĜض��������������ȅ���(sh��)��ͨ�^(gu��)����ϵ�y(t��ng)�����Ԍ�(sh��)�F(xi��n)ALD�^(gu��)�̵��Ԅ�(d��ng)�����ƺ�ӛ䛡�
���w��(l��i)�f(shu��)��ԭ�ӌӳ��e�O(sh��)���ڲ��ϿƌW(xu��)���{�ӹ��I(l��ng)�������Ҫ�đ�(y��ng)�Ãr(ji��)ֵ���܉�M�㌦(du��)�߾��ȡ����|(zh��)���Ͷ�ܱ�Ĥ���������ڌ�(sh��)�H��(y��ng)���У��O(sh��)��ķ�(w��n)�������ɿ��ԺͿ������ܶ����P(gu��n)�I���أ���Ҫ��(j��ng)�^(gu��)�����O(sh��)Ӌ(j��)�̓�(y��u)����
