ALD������(g��)���E
�l(f��)��r(sh��)�g��2023-08-19
ALD (Atomic Layer Deposition) ��ԭ�ӌӳ��e��һ�N���W(xu��)������e���g(sh��)�����ڱ�Ĥ���Ƃ���ALDͨ���������Ă�(g��)���E�M�ɣ�
1. ����(y��ng)ǰ�w���w�����ȣ��ɷN���Nǰ�w���w�����뵽����(y��ng)�������@Щǰ�w���wͨ���Ǔ]�l(f��)�Ի����������Էֽ���������IJ�����
2. ����ǰ�w���w���ڷ���(y��ng)�҃�(n��i)�����ϱ����(hu��)�cǰ�w���w�l(f��)������(y��ng)�������������ڱ��������@һ���Eͨ���ڵ͜����M(j��n)�У��Դ_��ǰ�w�����܉��(zh��n)�_�������ڱ����������ҷ���(y��ng)����(hu��)�ښ����аl(f��)����
3. ��ϴ���E�����˴_��ֻ������IJ������ڱ�������ͨ���M(j��n)����ϴ���E���@����ͨ�^(gu��)����ij�N��ϴ���w��̎�����W(xu��)����(y��ng)��(l��i)��(sh��)�F(xi��n)����ȥ������������|(zh��)��
4. ����(y��ng)���a(ch��n)���ȥ�����ڷ���(y��ng)�^(gu��)���п��ܕ�(hu��)�a(ch��n)�����a(ch��n)��������w����w��������˴_����Ĥ�|(zh��)���ͼ���������횏ķ���(y��ng)����ȥ���@Щ���a(ch��n)����
ͨ�^(gu��)ѭ�h(hu��n)��(zh��)���������E���������ӳ��e����IJ������γɸ��|(zh��)���������Ҿ��_��ȿ��Ƶı�Ĥ���@Щ����ʹ��ALD����������������Դ�惦(ch��)���I(l��ng)����ЏV���đ�(y��ng)��ǰ����
AGUS ALD-ԭ�ӌӳ��eϵ�y(t��ng)��http://www.rubis-consultant.com/Product.aspx?cid=5
