ALD���������E
�l(f��)��r�g��2023-08-19
ALD (Atomic Layer Deposition) ��ԭ�ӌӳ��e��һ�N���W(xu��)������e���g(sh��)�����ڱ�Ĥ���Ƃ���ALDͨ���������Ă����E�M�ɣ�
1. ����(y��ng)ǰ�w���w���������ɷN���Nǰ�w���w�����뵽����(y��ng)���С��@Щǰ�w���wͨ���Ǔ]�l(f��)�Ի����������Էֽ���������IJ�����
2. ����ǰ�w���w���ڷ���(y��ng)�҃�(n��i)�����ϱ�����cǰ�w���w�l(f��)������(y��ng)�������������ڱ��������@һ���Eͨ���ڵ͜����M(j��n)�У��Դ_��ǰ�w�����܉��(zh��n)�_�������ڱ����������ҷ���(y��ng)�����ښ����аl(f��)����
3. ��ϴ���E�����˴_��ֻ������IJ������ڱ�������ͨ���M(j��n)����ϴ���E���@����ͨ�^����ij�N��ϴ���w��̎�����W(xu��)����(y��ng)�팍(sh��)�F(xi��n)����ȥ������������|(zh��)��
4. ����(y��ng)���a(ch��n)���ȥ�����ڷ���(y��ng)�^���п��ܕ��a(ch��n)�����a(ch��n)�����w����w�����������˴_����Ĥ�|(zh��)���ͼ����ȣ���횏ķ���(y��ng)����ȥ���@Щ���a(ch��n)����
ͨ�^ѭ�h(hu��n)��(zh��)���������E���������ӳ��e����IJ��ϣ��γɸ��|(zh��)���������Ҿ��_��ȿ��Ƶı�Ĥ���@Щ����ʹ��ALD����ӡ����������Դ�惦���I(l��ng)����ЏV���đ�(y��ng)��ǰ����
AGUS ALD-ԭ�ӌӳ��eϵ�y(t��ng)��http://www.rubis-consultant.com/Product.aspx?cid=5
