ԭ�ӌӳ��eϵ�y(t��ng)
�l(f��)��r�g��2023-09-08
ԭ�ӌӳ��eϵ�y(t��ng)���x
ԭ�ӌӳ��eϵ�y(t��ng)��һ�N���Ԍ����|(zh��)�Ԇ�ԭ��Ĥ��ʽһ��һ�ӵ���ڻ��ױ���ķ��������c��ͨ�Ļ��W(xu��)���e�^������������ԭ�ӌӳ��e�^���У���һ��ԭ��Ĥ�Ļ��W(xu��)����(y��ng)��ֱ���c֮ǰһ�����P(gu��n)(li��n)�����@�N��ʽʹ��ÿ�η���(y��ng)ֻ���eһ��ԭ����
ԭ�ӌӳ��eϵ�y(t��ng)ԭ��
ԭ�ӌӳ��e��ͨ�^������ǰ�(q��)�w�}�_�����ͨ�뷴��(y��ng)�����ڳ��e���w�ϻ��W(xu��)����������(y��ng)���γɳ��eĤ��һ�N��������(d��ng)ǰ�(q��)�w�_(d��)�����e���w������������������滯�W(xu��)�������l(f��)�����淴��(y��ng)����ǰ�(q��)�w�}�_֮�g��Ҫ�ö��Ԛ��w��ԭ�ӌӳ��e����(y��ng)���M����ϴ���κΚ������|(zh��)�ڲ��ϱ��涼�����M����������������Ҫ�ڲ��ϱ���Ļ��W(xu��)������횾���һ���Ļ��������ܷF(xi��n)ԭ�ӌӳ��e���x����m�ķ���(y��ng)ǰ�(q��)�w���|(zh��)�Ǻ���Ҫ����
ԭ�ӌӳ��e��ˇ����
1. ǰ�(q��)�wA�}�_�M�뷴��(y��ng)�����ڱ�¶���r�ױ���l(f��)�����W(xu��)��������(y��ng)��
2. ���Ԛ��w������ʣ���δ����(y��ng)��ǰ�(q��)�wA��
3. ǰ�(q��)�wB�}�_�M�뷴��(y��ng)�����cǰ�(q��)�wA�l(f��)�����W(xu��)����(y��ng)��
4. ���Ԛ��w���ߣ�ʣ���δ����(y��ng)��ǰ�(q��)�w���a(ch��n)����
�������̲�����Ψһ��ԭ�ӌӳ��e��ˇ���̣����w���̿��ܕ���?q��)��H��(y��ng)�È���
�;��w��ˇҪ���������ͬ��������ԭ����һ�µġ�
ԭ�ӌӳ��eϵ�y(t��ng)���c
1. ���õij�Ĥ������Ĥ������Ը���≤3%
2. ��(y��u)���������������ն�≤5Pa
3. �|�ز���������������
ԭ�ӌӳ��e��(y��ng)���I(l��ng)��
ԭ�ӌӳ��e���g(sh��)��ALD���đ�(y��ng)���I(l��ng)��dz��V����
�ڼ����·��������ALD���g(sh��)��Ҫ���ڱ�Ĥ���e�����k��high-k�����ϡ����ٖ������늘O�ȹ�ˇ�h(hu��n)��(ji��)��
�ڼ����·��������ALD���g(sh��)��Ҫ���ڱ�Ĥ���e�����k��high-k�����ϡ����ٖ������늘O�ȹ�ˇ�h(hu��n)��(ji��)��
�ڹ���I(l��ng)����ALD���g(sh��)������������늳��������Ч�ʺͷ�(w��n)������
���@ʾ�I(l��ng)����ALD���g(sh��)����������OLED�@ʾ������
���⣬ALD���g(sh��)�ں��պ�������Դ�h(hu��n)�������d�I(l��ng)��Ҳ�����V���đ�(y��ng)��ǰ����
