Si3N4-AMB���~���������c
�l(f��)��r�g��2023-08-22
��ͨ�^���Խ����F��(AMB)��ˇ�γɵ��~/�մɽ���ճ�Y(ji��)���ȸ�������Si3N4�մ����Al2O3��AlN�߂����(y��u)���ęCе���ܺ����õČ����������Si3N4-AMB���~�����ڸߜ��µķ��ۿɿ��Ը�������SiC�������b��������x��
�����\��һ�I(y��)�猦Si3N4-AMB���~�����^���P(gu��n)�ĵ������棺Si3N4-AMB���~������Ƃ乤ˇ���~/�������մɽ���Ŀն��ʿ��Ƽ�����ĸߵ͜؛_���ɿ�����
Si3N4-AMB���~���������û��Խ���Ԫ��(Ti��Zr��Ta��Nb��V��Hf��)���ԝ����մɱ�������������~��ͨ�^���Խ����F���F����Si3N4�մɰ�������(j��)���_�Y���@ʾ��Si3N4-AMB���~������Ƃ����������F�ϵ��Ƃ��c���Խ����F����Ŀǰ�����c���y�c��
Si3N4-AMB���~�������a(ch��n)��ˇ���̈D
�� �����F�ϵ��x��
Ti��Zr��Hf��V��Nb���dz�Ҋ�ĎN���Խ���Ԫ�������Խ����մɱ��棬���V�������մ��c���ٵĻ��Է����������Ti�����Ԫ�ص�Ag-Cu-Tiϵ�Ͻ��njW���о���������H��(y��ng)�����V����һ�N�����F������800��950��Ĝض��¿��ԝ�������(sh��)�մɱ������F�����^���ȸߡ����ܷ�(w��n)�����Ķ������^�õ،��F(xi��n)�մɺͽ������մɺ��մɵķ�ӡ�TiԪ�صĻ����^����Ҳ���մɽ��ٻ��^������õĻ��Խ���Ԫ�أ����������F�����մɱ���ĝ�����
�� Ag-Cu-Ti�����F�ϵ�ʹ����ʽ
Ag-Cu-Tiϵ�����F�ϵ�ʹ����ʽ�STiԪ�ص��ΑB(t��i)���F�ϵĽM�Ϸ�ʽ��ͬ��������ͬ��
�� �A(y��)ͿTi��(��TiH2��)������Ȼ����A(y��)���κ�Ƭ(ͨ����Ag72Cu28�Ͻ�Ƭ)���@�N�����������y�Կ���Ti��TiH2���մɱ������ֲ������ṩ��Ti���������^���������F����Ti�����^�ߕr�����ό��Е��a(ch��n)���^����ԵĽ����g�������Ӱ��B�ӏ�����
�� �A(y��)�����մɱ�����PVD��CVD�һ��Ti��Ĥ��Ȼ���ټ�Ag-Cu�F����ԓ�����Ć��}����Ti���������Լ��մɱ������e���ٻ������µĹ�ˇЧ�ʵ����ɱ��ߵĆ��}��
�� ʹ��Ag-Cu-Ti��Ƭ������Ҫ�Ƃ䷽�����۟�܈�Ʒ�����ĩұ�����Ӡ�ͺϷ����Cе�Ͻ���Ag-Cu-Ti��Ƭ�m�߂�ʹ�ñ������ȾС�ă�(y��u)�ݣ������Ƃ��^�������׳��F(xi��n)����Ԫ��Ti��������ƫ���Ć��}�����ºϽ�׃�ࡢ�ɲ��ʘO�������ӽ��^�����^���������ڇ���(n��i)��δ���F(xi��n)�a(ch��n)�I(y��)����
�� ʹ��Ag-Cu-Ti��������Ag����Cu����Ti�۰�������������Ҳ�������y�~�Ͻ�ۻ��y���~�۴���Ag����Cu����TiH2�۴���Ti��������ֱ����Ag-Cu-Ti��Ԫ�Ͻ��Ƃ��ĩ���������܄����|׃������ƽ�����ЙC�ɷ����ó�Ag-Cu-Ti�����������y�~⁺�����������Ƃ乤ˇ���������θ�Ч�����ڸ�����мӟ�r�д����ЙC��]�l(f��)�������F�����治���������F(xi��n)�^��ն�����������F����ˇҪ����Ӈ�����
���Խ����F����Si3N4-AMB�����Ƃ乤ˇ�������Ҫ�ĭh(hu��n)��(ji��)������Si3N4-AMB���~������Ƃ����������Խ����F��Ϳ�����մɺ��~Ƭ֮�g��Ȼ��ͨ�^�ߜ�����F����ˇ���~Ƭ�F����Si3N4�մɵăɂ�(c��)���γ��~-�F��-Si3N4-�F��-�~�ĽY(ji��)��(g��u)��
�~/Si3N4����ն�
�~/Si3N4�մɽ���Ŀն����DZ��������|(zh��)������Ҫ����֮һ��Ҳ��Ŀǰ����(n��i)Si3N4-AMB�a(ch��n)Ʒʼ�K�y��ͻ�Ƶ�ƿ�i֮һ������Rogers��˾�پW(w��ng)�Ĉ���J�����ڽ���ն�����߅�������ֲ�����[�������Ӱ��˻����늚������������˻���Ŀɿ��ԡ�������~/�մɽ���ն��Ŀ������P(gu��n)��Ҫ�����õĽ���ն���(څ��0%)�܉��C�����ڸߜء�������µķ��ۿɿ�����
�� �ն��γ�ԭ��
��Ag-Cu-Ti�����F��(����ͺ�Ƭ)������Si3N4-AMB����ն��a(ch��n)����ԭ����Ҫ�������c��
�� ԭ�ϱ����|(zh��)��������ǰ�մ����o���~����Ƭ����Ą������������������ЙC��Ⱦ�Ȇ��}���������ϵĝ����չ���ؓ��Ӱ������F�����控���˝��ڵĿն��L�U��
�� ����Ԫ��ʧ�Ag-Cu-Ti�Ļ���Ԫ��Ti����ʮ�����У��ߜ��F���^����������Ҫ����նȃ�(y��u)��10-3Pa������նȟo���M�㺸��Ҫ����Ti����ʧ�������ϟo������Si3N4�մɱ�����ɴ���e̓����©���ĬF(xi��n)��
�� �F����ˇ����(sh��)��Ag-Cu-Ti�����F��������800�����ϲ��ܝ���Si3N4���棬���F���ض��^�ͻؕr�g�^��������ʹ��Ti�c�մɱ���ķ���(y��ng)�������������F�ϟo����ȫ�����մɱ�����
�� ����ӡˢ�|(zh��)��������e����ӡˢ�^�������^�׳��F(xi��n)����©ӡ��ӡˢ������Ć��}�������ۻ���һ���]���չ���w�@Щ©ӡ�^(q��)�����͕�ֱ�ӌ��¿ն����γ���
�� ����Ś⣺�F���^�����������Г]�l(f��)���Ě��w���������������γɚ����������������е��ЙC��ͽ��������ﷴ��(y��ng)Ҳ���a(ch��n)�����ݣ��S������(y��ng)���M�К�����u׃�����ų��Ě��ݕ��ں������������������Ě������δ�ų��Ě���ͬ�ӕ��S�������ۻ����̵��^�̜������F������̎���γɿն���
�� ���Ϳն��ʵĴ�ʩ
��ͨ�^AMB��ˇ�Ƃ䵪���踲�~������^��������Si3N4�մɺ��~Ƭ�M�г��ͺͳ�����̎�����ṩ�^�ߵ�����F���h(hu��n)����Ŀǰ��֪�Ľ��ͽ���ն��ʵķ��������Ӊ����ǿն�������Ҫ��Ӱ��������m���Ӊ����H����ʹĸ���c�����γɾo�ܵĽ��|�������ڽ��|����(y��ng)�ۻ����M�������ҿ��������ۻ����ϵ����������D���F������Ě��w���Ķ����Ϳն�����
AMB���������
���������+����ĺ��Ӛ�ձ���՚�ո������ڽ��ͺ��ӿն��ʣ��@��AMB��ˇҲ��һ�����l(f��)���������^��Ҫע����ǵ����ڸߜ��¿��ܕ���Ti�l(f��)�����W����(y��ng)���������Ԛ��w(���⡢����)���ܸ��m����AMB��ˇ��
�ߵ͜؛_���ɿ��Եı��F(xi��n)�DZ������b����ɿ��Ե���Ҫָ�ˣ�������SiC�����߹����ض����߹����ܶȰl(f��)չ�ı�����������Ŀ��ߵ͜؛_���������@�ø�����Ҫ��Si3N4-AMB�������AlN-AMB���弰DBC�������ڿɿ��Է���������@�ă�(y��u)�ݣ��@�N��(y��u)��һ����Դ�ڵ������մɱ��탞(y��u)����������������һ����tԴ��AMB��ˇ�������~��Si3N4�մɸ��ӷ�(w��n)���ĽY(ji��)������
�� Si3N4�մ�����
�������ጧ���Ƿ��b���������Ҫ�����܅���(sh��)֮һ��Ŀǰ���õ������մɰ�ğጧ�ʻ�����80��90Wm-1K-1֮�g���䌧���������絪���X�մ�����Ҳ���о���������һ���l������������߂��_�������X����ˮƽ�ĝ������ҵ�������僞(y��u)���Ĕ����g�ԺͿ�������(�����ǵ����X�ăɱ�)���m�����͵������մɻ����Ȳ�����Ӱ�����ۿɿ��ԡ��������ξ����������Փ�ጧ�ʿ����_��400W/(m.K)��
ͬ�r�������菊���������d����Ҳ���Ժܺõ�ƥ��������������ģ�K���ڷ��b�����������ȵ����X�������X��������o���Ǹ߿ɿ���AMB��������x�մɲ��ϡ�
�� Si3N4-AMB���ߵ͜؛_������
����Si3N4��AlN��Al2O3��AMB������-45��150��ߵ͜�ѭ�h(hu��n)�_���Δ�(sh��)���Y(ji��)���l(f��)�F(xi��n)Si3N4-AMB�քe��AlN-AMB��Al2O3-AMB��10����100������ʧЧ�̶ȸ�����
����Si3N4-AMB�����AlN-AMB�������_�����g(-40��250��)�a(ch��n)�����Ѽy������l(f��)�F(xi��n)ǰ�ߵ��Ѽy�Uչ�����h���ں������@Ҳ�����Si3N4-AMB����Ě������������˻��F(xi��n)���^AlN-AMB������Ӿ�����ԭ�������^�����~�������ߌ����ʺ��ߏ������ȵ�Si3N4�մɿ��Ԝp��Si3N4-AMB���嚈���������ȵ��˻������Si3N4-AMB����ķ��ۉ�����
�� �~�ӱ���“��Ƥ�F(xi��n)��”
���ٱ��澧�w�l(f��)���Ϊ����x��λ�ƌ��½��ٱ���ֲڻ��ĬF(xi��n)�������Q��“��Ƥ�F(xi��n)��”�������īI������Si3N4-AMB���~�����ڜضț_���^���Е��a(ch��n)�����@��“��Ƥ�F(xi��n)��”��ԓ�F(xi��n)���c�~�ӵĄ��x���Ѽy��ȱ����ֱ���P(gu��n)ϵ��
�S�����_���Δ�(sh��)���������~�͵�����֮�g�ğᑪ(y��ng)�����¾��w��(y��ng)׃�A�������~�c�������Y(ji��)�ϵą^(q��)�����~�����۷e�������~�ӵı���ጷţ����F(xi��n)���~�����ؾ��绬�Ӳ����汳���Ƅ����Ķ������x��λ�������~�������x��λ���DZ���ֲڻ���ֱ��ԭ����������~�ľ������������Ƿ�ֹSi3N4-AMB���~����“��Ƥ�F(xi��n)��”����Ч��ʩ��
���û��Խ����F�����g(sh��)�Ƃ��Si3N4-AMB���~���匧���Ժ������ȸߡ����ܷ�(w��n)�����Ǯ�����߸�������SiC���������÷��b���塣ȫ��Ŀǰֻ�Ў������˾�߂��Ʒ�|(zh��)Si3N4-AMB���~��������a(ch��n)���������҇����@һ�I(l��ng)����аl(f��)���^����һЩ�P(gu��n)�I���g(sh��)ƿ�i��δͻ�ơ�
������Si3N4-AMB���b����ĸ��|(zh��)��ԭ���ϵĹ���(y��ng)ʼ�K��ه�M��Ҳ�LJ���(n��i)Si3N4-AMB�ИI(y��)�l(f��)չ�t����ԭ��֮һ���ߌ���Si3N4�մɺ�Ʒ�|(zh��)�~���ć��a(ch��n)������(y��ng)������Si3N4-AMB����l(f��)չ�Ą���ԴȪ��������ԭ���Ϲ���(y��ng)�_ʼ����K�a(ch��n)Ʒݔ���ļ��g(sh��)��ˇ·������������(y��ng)������LJ��a(ch��n)Si3N4-AMB����a(ch��n)�I(y��)һֱ��ҪŬ��
��Դ���пƾ������V����ˇ��ӿƼ�����˾