Si3N4-AMB���~���������c
�l(f��)��r�g��2023-08-22
��ͨ�^���Խ����F��(AMB)��ˇ�γɵ��~/�մɽ���ճ�Y���ȸ�������Si3N4�մ����Al2O3��AlN�߂����(y��u)���ęCе���ܺ����õČ����������Si3N4-AMB���~�����ڸߜ��µķ��ۿɿ��Ը�������SiC�������b��������x��
�����\��һ�I(y��)�猦Si3N4-AMB���~�����^���P�ĵ������棺Si3N4-AMB���~������Ƃ乤ˇ���~/�������մɽ���Ŀն��ʿ��Ƽ�����ĸߵ͜؛_���ɿ��ԡ�
Si3N4-AMB���~���������û��Խ���Ԫ��(Ti��Zr��Ta��Nb��V��Hf��)���ԝ����մɱ�������������~��ͨ�^���Խ����F���F����Si3N4�մɰ����������_�Y���@ʾ��Si3N4-AMB���~������Ƃ��У������F�ϵ��Ƃ��c���Խ����F����Ŀǰ�����c���y�c��
Si3N4-AMB���~�������a��ˇ���̈D
�� �����F�ϵ��x��
Ti��Zr��Hf��V��Nb���dz�Ҋ�ĎN���Խ���Ԫ�������Խ����մɱ��������V�������մ��c���ٵĻ��Է����������Ti�����Ԫ�ص�Ag-Cu-Tiϵ�Ͻ��njW���о���ࡢ���H�������V����һ�N�����F������800��950��Ĝض��¿��ԝ��������մɱ������F�����^���ȸ������ܷ�(w��n)�����Ķ������^�õ،��F�մɺͽ������մɺ��մɵķ����TiԪ�صĻ����^����Ҳ���մɽ��ٻ��^������õĻ��Խ���Ԫ�أ����������F�����մɱ���ĝ�����
�� Ag-Cu-Ti�����F�ϵ�ʹ����ʽ
Ag-Cu-Tiϵ�����F�ϵ�ʹ����ʽ�STiԪ�ص��ΑB(t��i)���F�ϵĽM�Ϸ�ʽ��ͬ��������ͬ��
�� �AͿTi��(��TiH2��)������Ȼ����A���κ�Ƭ(ͨ����Ag72Cu28�Ͻ�Ƭ)���@�N�����������y�Կ���Ti��TiH2���մɱ������ֲ������ṩ��Ti���������^���������F����Ti�����^�ߕr�����ό��Е��a���^����ԵĽ����g�������Ӱ��B�ӏ�����
�� �A�����մɱ�����PVD��CVD�һ��Ti��Ĥ��Ȼ���ټ�Ag-Cu�F����ԓ�����Ć��}����Ti���������Լ��մɱ������e���ٻ������µĹ�ˇЧ�ʵ͡��ɱ��ߵĆ��}��
�� ʹ��Ag-Cu-Ti��Ƭ������Ҫ�Ƃ䷽�����۟�܈�Ʒ�����ĩұ���Ӡ�ͺϷ����Cе�Ͻ�Ag-Cu-Ti��Ƭ�m�߂�ʹ�ñ������ȾС�ă�(y��u)�ݣ������Ƃ��^�������׳��F����Ԫ��Ti��������ƫ���Ć��}�����ºϽ�׃�ࡢ�ɲ��ʘO�������ӽ��^�����^���������ڇ�����δ���F�a�I(y��)����
�� ʹ��Ag-Cu-Ti��������Ag����Cu����Ti�۰�������������Ҳ�������y�~�Ͻ�ۻ��y���~�۴���Ag����Cu�ۣ�TiH2�۴���Ti��������ֱ����Ag-Cu-Ti��Ԫ�Ͻ��Ƃ��ĩ���������܄����|׃������ƽ�����ЙC�ɷ����ó�Ag-Cu-Ti�����������y�~⁺�����������Ƃ乤ˇ���������θ�Ч�����ڸ�����мӟ�r�д����ЙC��]�l(f��)�������F�����治���������F�^��ն�����������F����ˇҪ����Ӈ�����
���Խ����F����Si3N4-AMB�����Ƃ乤ˇ�������Ҫ�ĭh(hu��n)��(ji��)������Si3N4-AMB���~������Ƃ����������Խ����F��Ϳ�����մɺ��~Ƭ֮�g��Ȼ��ͨ�^�ߜ�����F����ˇ���~Ƭ�F����Si3N4�մɵăɂ����γ��~-�F��-Si3N4-�F��-�~�ĽY����
�~/Si3N4����ն�
�~/Si3N4�մɽ���Ŀն����DZ��������|������Ҫ����֮һ��Ҳ��Ŀǰ����Si3N4-AMB�aƷʼ�K�y��ͻ�Ƶ�ƿ�i֮һ������Rogers��˾�پW�Ĉ���J�����ڽ���ն�����߅�������ֲ�����[�������Ӱ��˻����늚����ܣ������˻���Ŀɿ��ԡ�������~/�մɽ���ն��Ŀ������P��Ҫ�����õĽ���ն���(څ��0%)�܉��C�����ڸߜ���������µķ��ۿɿ�����
�� �ն��γ�ԭ��
��Ag-Cu-Ti�����F��(����ͺ�Ƭ)������Si3N4-AMB����ն��a����ԭ����Ҫ�������c��
�� ԭ�ϱ����|��������ǰ�մ����o���~����Ƭ����Ą������������������ЙC��Ⱦ�Ȇ��}���������ϵĝ����չ���ؓ��Ӱ푣����F�����控���˝��ڵĿն��L�U��
�� ����Ԫ��ʧ�Ag-Cu-Ti�Ļ���Ԫ��Ti����ʮ���������ߜ��F���^���У�����Ҫ����նȃ�(y��u)��10-3Pa������նȟo���M�㺸��Ҫ����Ti����ʧ�������ϟo������Si3N4�մɱ�����ɴ���e̓����©���ĬF����
�� �F����ˇ������Ag-Cu-Ti�����F��������800�����ϲ��ܝ���Si3N4���棬���F���ض��^�ͻؕr�g�^��������ʹ��Ti�c�մɱ���ķ����������������F�ϟo����ȫ�����մɱ�����
�� ����ӡˢ�|��������e����ӡˢ�^�������^�׳��F����©ӡ��ӡˢ������Ć��}�������ۻ���һ���]���չ���w�@Щ©ӡ�^(q��)�͕�ֱ�ӌ��¿ն����γ���
�� ����Ś⣺�F���^���У������Г]�l(f��)���Ě��w���������������γɚ����������������е��ЙC��ͽ��������ﷴ��Ҳ���a���������S���������M�К�����u׃�����ų��Ě��ݕ��ں������������������Ě������δ�ų��Ě���ͬ�ӕ��S�������ۻ����̵��^�̜������F������̎���γɿն���
�� ���Ϳն��ʵĴ�ʩ
��ͨ�^AMB��ˇ�Ƃ䵪���踲�~������^��������Si3N4�մɺ��~Ƭ�M�г��ͺͳ�����̎�����ṩ�^�ߵ�����F���h(hu��n)����Ŀǰ��֪�Ľ��ͽ���ն��ʵķ��������Ӊ����ǿն�������Ҫ��Ӱ��������m���Ӊ����H����ʹĸ���c�����γɾo�ܵĽ��|�������ڽ��|�����ۻ����M�������ҿ��������ۻ����ϵ������ԣ��D���F������Ě��w���Ķ����Ϳն�����
AMB���������
���������+����ĺ��Ӛ�ձ���՚�ո������ڽ��ͺ��ӿն��ʣ��@��AMB��ˇҲ��һ�����l(f��)���������^��Ҫע����ǵ����ڸߜ��¿��ܕ���Ti�l(f��)�����W�������������Ԛ��w(����������)���ܸ��m����AMB��ˇ��
�ߵ͜؛_���ɿ��Եı��F�DZ������b����ɿ��Ե���Ҫָ����������SiC�����߹����ضȡ��߹����ܶȰl(f��)չ�ı�����������Ŀ��ߵ͜؛_���������@�ø�����Ҫ��Si3N4-AMB�������AlN-AMB���弰DBC�������ڿɿ��Է���������@�ă�(y��u)�����@�N��(y��u)��һ����Դ�ڵ������մɱ��탞(y��u)�����������ܣ���һ����tԴ��AMB��ˇ�������~��Si3N4�մɸ��ӷ�(w��n)���ĽY������
�� Si3N4�մ�����
�������ጧ���Ƿ��b���������Ҫ�����܅���֮һ��Ŀǰ���õ������մɰ�ğጧ�ʻ�����80��90Wm-1K-1֮�g���䌧���������絪���X�մ�����Ҳ���о���������һ���l������������߂��_�������X����ˮƽ�ĝ������ҵ�������僞(y��u)���Ĕ����g�ԺͿ�������(�����ǵ����X�ăɱ�)���m�����͵������մɻ����Ȳ�����Ӱ�����ۿɿ��ԡ��������ξ����������Փ�ጧ�ʿ����_��400W/(m.K)��
ͬ�r�������菊���������d����Ҳ���Ժܺõ�ƥ��������������ģ�K���ڷ��b�������������ȵ����X�������X��������o���Ǹ߿ɿ���AMB��������x�մɲ��ϡ�
�� Si3N4-AMB���ߵ͜؛_������
����Si3N4��AlN��Al2O3��AMB������-45��150��ߵ͜�ѭ�h(hu��n)�_���Δ����Y���l(f��)�FSi3N4-AMB�քe��AlN-AMB��Al2O3-AMB��10����100������ʧЧ�̶ȸ��͡�
����Si3N4-AMB�����AlN-AMB�������_�����g(-40��250��)�a�����Ѽy������l(f��)�Fǰ�ߵ��Ѽy�Uչ�����h���ں������@Ҳ�����Si3N4-AMB����Ě������������˻��F���^AlN-AMB������Ӿ�����ԭ�������^�����~���ߌ����ʺ��ߏ������ȵ�Si3N4�մɿ��Ԝp��Si3N4-AMB���嚈���������ȵ��˻������Si3N4-AMB����ķ��ۉ�����
�� �~�ӱ���“��Ƥ�F��”
���ٱ��澧�w�l(f��)���Ϊ����x��λ�ƌ��½��ٱ���ֲڻ��ĬF�������Q��“��Ƥ�F��”�������īI������Si3N4-AMB���~�����ڜضț_���^���Е��a�����@��“��Ƥ�F��”��ԓ�F���c�~�ӵĄ��x���Ѽy��ȱ����ֱ���Pϵ��
�S�����_���Δ������ӣ��~�͵�����֮�g�ğᑪ�����¾��w��׃�A�������~�c�������Y�ϵą^(q��)�����~�����۷e�������~�ӵı���ጷ������F���~�����ؾ��绬�Ӳ����汳���Ƅӣ��Ķ������x��λ�������~�������x��λ���DZ���ֲڻ���ֱ��ԭ��������~�ľ������������Ƿ�ֹSi3N4-AMB���~����“��Ƥ�F��”����Ч��ʩ��
���û��Խ����F�����g�Ƃ��Si3N4-AMB���~���匧���Ժá����ȸ������ܷ�(w��n)�����Ǯ�����߸�������SiC���������÷��b������ȫ��Ŀǰֻ�Ў������˾�߂��Ʒ�|Si3N4-AMB���~��������a���������҇����@һ�I����аl(f��)���^����һЩ�P�I���gƿ�i��δͻ�ơ�
������Si3N4-AMB���b����ĸ��|��ԭ���ϵĹ���ʼ�K��ه�M��Ҳ�LJ���Si3N4-AMB�ИI(y��)�l(f��)չ�t����ԭ��֮һ���ߌ���Si3N4�մɺ�Ʒ�|�~���ć��a������������Si3N4-AMB����l(f��)չ�Ą���ԴȪ��������ԭ���Ϲ����_ʼ����K�aƷݔ���ļ��g��ˇ·������������������LJ��aSi3N4-AMB����a�I(y��)һֱ��ҪŬ��
��Դ���пƾ������V����ˇ��ӿƼ�����˾